光罩檢查機-Mask AOI

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光罩檢查機-Mask AOI    

應用於光罩片外觀檢查，針對光罩之刮傷、污染與破損等缺陷進行全自動化檢測。
❈ 高分辨率光學系統
❈ 檢測軟體自行研發
❈ 人性化操作介面

世廣科技股份有限公司

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